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        Park NX20原子力顯微鏡

        簡要描述:Park NX20原子力顯微鏡作為缺陷形貌分析的精密測量儀器,可進行大型樣品精密測量并憑借著高精準的數(shù)據(jù)準確性,在半導體和超平樣品行業(yè)中大受贊揚。

        • 更新時間:2025-03-14
        • 廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
        • 訪  問  量: 2351

        詳細介紹

        作為一款缺陷形貌分析的精密測量儀器,其主要目的是對樣品進行缺陷檢測。而儀器所提供的數(shù)據(jù)不能允許有錯誤的存在。Park NX20原子力顯微鏡,這款高精密的大型樣品原子力顯微鏡,憑借著數(shù)據(jù)的準確性,在半導體和硬盤行業(yè)中大受贊揚。

        全面多樣的分析功能

        Park NX20原子力顯微鏡可快速幫助客戶找到產(chǎn)品失效的原因,并幫助客戶制定出更多具有創(chuàng)意的解決方案。高精密度可為用戶帶來高分辨率數(shù)據(jù),讓用戶能夠更加專注于工作。與此同時,非接觸掃描模式讓探針針尖更鋒利、更耐用,無需為頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。

        FA和研究實驗室提供精確的形貌測量解決方案

        · 對樣品和基片進行表面粗糙度測量

        · 缺陷檢查成像與分析

        · 高分辨率電子掃描模式

        · 三維結(jié)構(gòu)測量的解耦XY掃描系統(tǒng)

        · 低噪聲Z探測器可精確測量原子力顯微鏡表面形貌

        Park NX20特點

        低噪聲XYZ位置傳感器

        自動多點樣品掃描

        掃描頭滑動嵌入式設計

        用于高級掃描模式易插拔擴展槽

        高速24位數(shù)字電子控制器

        高速Z軸掃描器,掃描范圍達15 µm

        集成編碼器的XY自動樣品載臺

        操作方便的樣品臺

        同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統(tǒng)。

        自動Z軸移動和聚焦系統(tǒng)

        Park NX20技術(shù)參數(shù)

        掃描器

        Z掃描器

        柔性引導高推動力掃描器

        掃描范圍: 15 µm (可選 30 µm)
        高度信號噪聲等級: 30 pm
        (RMS, at 0.5 kHz帶寬)

        XY掃描器

        閉環(huán)控制的柔性引導XY掃描器

        掃描范圍: 100 µm × 100 µm
        (可選 50 µm × 50 µm)

        驅(qū)動臺

        Z位移臺行程范圍 : 25 mm (Motorized)
        聚焦樣品臺行程范圍 : 15 mm (Motorized)
        XY位移臺行程范圍 : 200 mm x 200 mm

        樣品架

        樣品尺寸 : 基本配置開放空間 up to 200 mm x 200 mm,厚度 up to 20 mm
        樣品重量 : < 500 g

        光學

        10倍 (0.23 N.A.)超長工作距離鏡頭 (1µm分辨率)
        樣品表面和懸臂的直觀同軸影像
        視野 : 840 × 630 µm (帶10倍物鏡)
        CCD : 100萬像素, 500萬像素 (可選)

        軟件

        SmartScan™

        AFM系統(tǒng)控制和數(shù)據(jù)采集的專用軟件
        智能模式的快速設置和簡易成像
        手動模式的高級使用和更精密的掃描控制

        XEI

        AFM數(shù)據(jù)分析軟件

        電子

        集成功能
        4通道數(shù)字鎖相放大器
        數(shù)據(jù)Q控制


        信號處理

        ADC : 18 channels 4 high-speed ADC channels 24-bit ADCs for X, Y and Z scanner position sensor

        DAC : 17 channels 2 high-speed DAC channels 20-bit DACs for X, Y and Z scanner positioning

        Maximum data size : 4096 x 4096 pixels


        連接外部信號
        20個嵌入式輸入/輸出端口
        5個TTL輸出 : EOF, EOL, EOP, 調(diào)制和交流偏壓




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